Pelcotec CDMS 1C standard powiększenia i krytycznych wymiarów

Standard kalibracyjny CDMS Pelotec™ jest łatwy w użyciu i bardzo przydatny do szybkiej i precyzyjnej kalibracji powiększenia w SEM, FESEM, FIB, CD-SEM, LM oraz  AFM.

Wyjątkowy, o przystępnej cenie, a do tego w pełni funkcjonalny i identyfikowalny standard kalibracyjny do szerokiego zakresu pomiarów. Są wykonywane przy użyciu najnowszych technik wytwarzania półprzewodników i MEMS. Standard kalibracyjny CDMS Pelcotec™ jest dostępny w dwóch wersjach zakresu, obie posiadają identyfikowalny i certyfikowany standard, co daje w rezultacie 4 wersje.

CDMS-1C jest certyfikowany przez NIST i w pełni identyfikowalny do rys o wymiarach od 2.0mm do 1µm w zakresie powiększeń 10x-20 000x i idealny do nastołowych mikroskopów SEM i zastosowaniu powiększeń niskich do średnich.

Rozmiary rys na Pelcotec™ CDMS-1T i -1C to: 2mm, 1mm, 0.5mm, 0.25mm, 10µm, 5µm, 2µm i 1µm.

Standardy powiększenia i krytycznych wymiarów Pelcotec™ CDMS są wykonane na ultra płaskim podłożu krzemowym z precyzyjną 50nm powłoką chromową na rysy do 5µm lub powłoką powstała z połączenia 50nm złota i 20nm chromu do rys o wymiarach 2µm do 100nm. Chrom oraz złoto-chrom na krzemie zapewnia doskonały kontrast zarówno w obrazowaniu SE jak i BSE. Rysy są łatwiejsze do określenia niż na wytrawionym standardzie krzemowym. Dzięki krzemowemu podłożu, rysy chromowe oraz chromowo-złote są przewodzące bez problemu ładowania standardu kalibracyjnego. Mocna konstrukcja standardu CDMS sprawia, że może być on czyszczony przy użyciu plasma cleanera.

Mniejsze rysy są zagnieżdżone w celu łatwiejszej nawigacji i szybszej kalibracji. Dokładność rys to co najmniej 0.3% lub więcej. Obecny rozmiar standardu to 2.5mm x 2.5mm o grubości 675µm±25µm. Brak pokrycia na powierzchni krzemowej. Każdy standard kalibracyjny Pelcotec CDMS posiada unikatowy numer identyfikacyjny.

Są dostępne zarówno w wersji zamontowanej i niezamontowanej na wybranym stoliku SEM.

Do aplikacji AFM Pelcotec™ CDMS jest zamontowany na 12mm krążku AFM, do aplikacji LM jest zamontowany na szkiełku 25 x 75mm.