Stanowią jednowymiarową macierz trapezoidalnych schodków wytrawionych w podłożu krzemowym. Ściany boczne struktur są bardzo gładkie, z dobrze zdefiniowaną orientacją utworzoną przez płaszczyznę krystalograficzną (111) krzemu monokrystalicznego. Ściany boczne tworzą ze szczytami kąt 54°74’.
Powierzchnia aktywna: 3mm x 3mm, wymiar chipu 5mm x 5mm x 0,3mm, zagłębienie 10µm, dokładność zagłębienia 0,1µm, wysokość struktur 1,75µm.