Wzorzec kalibracyjny – MetroChip

Wzorzec kalibracyjny MetroChip zapewnia szeroki zakres cech służących do kalibracji w technikach takich jak SEM, FIB, AFM, mikroskopia oraz metrologia świetlna. Jest dostarczany na chip’ie o wymiarach 20x20mm i grubości 750µm z cechami periodycznymi dla potrzeb kalibracji w zakresie 4mm w dół do 100nm.

Może być stosowany także w mikroskopii AFM oraz świetlnej i zawiera dużą liczbę cech do kontroli liniowości, zniekształceń i skanowania długości.

Cechy służące do kalibracji w technice SEM obejmują ustawione znaczniki, liniową mikroskalę, pomiary dystorsji, kalibrację przyosiową (przesunięcie obrazu), pomiary rozdzielczości, gwiazda do regulacji ostrości, kalibrację astygmatyzmu, siatki oraz koncentryczne kwadraty i okręgi. Kombinacja tych cech na jednym wzorcu sprawia, że MetroChip jest doskonałym wzorcem typu all-in-one zarówno do ustawień wstępnych, jak i do regularnych kontroli kalibracyjnych. Dzięki materiałowi wykonania charakteryzuje się zminimalizowanym efektem ładowania elektrostatycznego i trwałością.

Wzorzec MetroChip jest łatwy w nawigowaniu i dostarczany jest ze znacznikami wymiarów dotyczącymi większości cech. Charakteryzuje się dokładnością zgodną z certyfikacją NIST.